SiCやGaN、ダイヤモンド基板をゆがみなく研磨する技術、阪大 （EE Times Japan）

「SEMICON Japan 2022」（2022年12月14日～16日、東京ビッグサイト）において、将来有望な半導体に関する大学／大学院の研究を表彰する「アカデミア Award」が初開催された。最優秀賞を受賞したのは、次世代パワー半導体として期待されるSiC（炭化ケイ素）やGaN（窒化ガリウム）および、ダイヤモンド基…