伸和コントロールズ（川崎市麻生区、山本拓司社長）が半導体製造装置向けチラーのスマート化を狙って開発した自律制御・故障予知技術が、学界や半導体業界で注目されている。同技術に関する論文が、11月に開かれた半導体関連の国際学会「第43回ドライプロセス国際シンポジウム」の講演の演題として採択…
伸和コントロールズ（川崎市麻生区、山本拓司社長）が半導体製造装置向けチラーのスマート化を狙って開発した自律制御・故障予知技術が、学界や半導体業界で注目されている。同技術に関する論文が、11月に開かれた半導体関連の国際学会「第43回ドライプロセス国際シンポジウム」の講演の演題として採択…