鉛フリーで鉛系並み圧電性能、住友化学が薄膜材料を開発 （ニュースイッチ）

住友化学は、鉛フリーの圧電薄膜ウエハーで既存の鉛系材料並みの性能を実現した。鉛は欧州特定有害物質規制（RoHS）の対象で、多くの分野で代替が進むが、圧電薄膜材料では鉛系に匹敵する素材がなかった。今後、センサーやアクチュエーター、各種微小電気機械システム（MEMS）デバイスなど用途を探索し…