原子力機構など、シリコン酸化膜の成長メカニズムをリアルタイムで観察することに成功 （マイナビ）

日本原子力研究開発機構(原子力機構)、東北大学、福井工業高等専門学校(福井高専)、高輝度光科学研究センター(JASRI)の4者は12月19日、シリコン(Si)酸化膜の成長メカニズムを、高輝度放射光を用いたリアルタイム光電子分光法観察により明らかにしたことを発表した。 同成果は、原子力機構 物質科学研究…