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今回の記事ではウェットエッチングとドライエッチングそれぞれのエッチング技術の特徴や違い、それぞれに適した用途について簡単に解説していく。 半導体製造においては、基板や基板上に形成した薄膜を加工するプロセスに「エッチング」と呼ばれる手法がある。エッチング技術の成長は、インテルの創業…