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全3968文字 PR 大電流・高耐圧で動作させられることから、パワー半導体での今後の主役と目されるSiC。既に、電気自動車(EV)や鉄道、太陽光発電用のインバーターなどでの普及が進みつつある。このSiCを脅かすかもしれない存在が台頭してきた。酸化ガリウム(Ga2O3)だ(図1)。 図1 酸化ガリウムの開…