半導体ウエハー端部の欠陥見逃さない、レーザーテックが発売したAI活用装置の性能 （ニュースイッチ）

レーザーテックは高感度ウエハーエッジ検査装置「CIELシリーズ＝写真」を開発し、受注を始めた。歩留まり悪化につながる半導体ウエハーの微小な端部・端面欠陥を検出する。従来機種の光学系を一新して解像度を高め、深層学習（ディープラーニング）に基づく人工知能（AI）により検出すべき欠陥を特定で…