コマツ子会社、半導体露光用光源の累計出荷台数倍増へ （日本経済新聞）

コマツは半導体露光用光源の生産能力を増やすコマツの完全子会社で半導体露光用の光源メーカーのギガフォトン（栃木県小山市）は15日、光源装置の累計出荷台数が2030年に約2倍の4000台になるとの見通しを示した。同社は装置の保守事業が売り上げの約7割を占め、売り上げも累積の出荷台数にあわせて伸び…