12月15日、コマツの完全子会社で半導体露光装置を手掛けるギガフォトン（栃木県小山市）の浦中克己社長は15日、高出力の波長の放射を可能とする「DUV光源」の露光装置について、新規販売台数は2022年以降、それ以前の3倍以上に相当する年200─300台ペースで増加し、2030年には累計で現在比倍増の4000台…
12月15日、コマツの完全子会社で半導体露光装置を手掛けるギガフォトン（栃木県小山市）の浦中克己社長は15日、高出力の波長の放射を可能とする「DUV光源」の露光装置について、新規販売台数は2022年以降、それ以前の3倍以上に相当する年200─300台ペースで増加し、2030年には累計で現在比倍増の4000台…