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日立製作所<6501>グループの日立ハイテクは13日、パターンなしウェーハ表面における異物や欠陥を検査する「LS9600」を発売すると発表した。 同製品は、新規採用の高出力・短波長レーザーなどを搭載することで、最先端半導体デバイス量産に必要な感度におけるスループット性能が、従来製品と比較して約2…