EVG、200mmウェハ対応の次世代版自動フォトレジスト処理装置を発売 （マイナビ）

オーストリアEV Group(EVG)は、同社の自動レジスト処理装置「EVG 150」として、新たに最先端パッケージング、MEMS、高周波(RF)、3Dセンシング、パワーエレクトロニクス、フォトニクスなどの次世代ニーズに対応する200mmウェハ対応の新モデルを発表した。 新モデルのEVG150 プラットフォームは、前世代…