SCREEN、次世代の半導体洗浄装置 生産性3割改善 （日本経済新聞）

SCREENセミコンダクターソリューションズの半導体洗浄装置「SU-3400」SCREENホールディングスは7日、半導体製造に使う新型の洗浄装置を発売した。従来より細かいゴミを取り除くことができ、回路の微細化や複雑化が進む次世代の先端半導体にも対応できるという。内部のロボット機構などを工夫し、従来機…