堀場製作所と堀場エステックは2022年12月7日、四重極形質量分析計「MICROPOLE system QL」シリーズとウエハー裏面圧力制御システム「GR-500」を2023年1月に発売すると発表した。半導体製造プロセスの歩留まりの改善や、生産性を向上する。 「MICROPOLE system」シリーズは、チャンバー内のガス成分を計…
堀場製作所と堀場エステックは2022年12月7日、四重極形質量分析計「MICROPOLE system QL」シリーズとウエハー裏面圧力制御システム「GR-500」を2023年1月に発売すると発表した。半導体製造プロセスの歩留まりの改善や、生産性を向上する。 「MICROPOLE system」シリーズは、チャンバー内のガス成分を計…