名古屋大学などがプラズマで半導体製造、ランダムレーザーを実現 （日経BP）

全902文字 PR 名古屋大学の大野哲靖氏らの研究グループは、従来に比べて大幅に工程数を削減できる半導体の材料加工技術を発見した。核融合研究で開発されたプラズマ照射技術を用いた。核融合技術の応用展開をけん引する研究成果であり、同研究分野の一層の発展が期待できるという。